协会动态
半导体设备用高纯高性能碳化硅晶舟、炉管等产品及其制备项目科技成果评价会顺利召开
4月15日,受湖南德智新材料股份有限公司(以下简称德智新材)委托,湖南省电池行业协会、长沙市先进电池材料及电池产业技术创新战略联盟联合组织专家召开“半导体设备用高纯高性能碳化硅晶舟、炉管等产品及其制备”科技成果评价会。湖南德智新材料股份有限公司副总经理余盛杰博士、副总经理黄洪福等负责人出席会议。
评价会现场
评价会由省电池协会主持,特别邀请中机国际综合设计研究院原院长张建新,中钨高新材料股份有限公司高级工程师张忠健,国家先进轨道交通装备创新中心主任李林,长沙市新材料检验检测产业技术创新战略联盟高级工程师周桂南,功率半导体行业联盟常务副秘书长舒丽辉组成项目评价专家组。
会上,项目负责人就项目背景、进展情况、技术创新、检验检测、产品市场等进行项目详细汇报,随后,专家组质询讨论,与项目团队进行了深入交流及规划建议。
经评审,专家组结论,该项目技术成果整体达到国内领先水平,部分指标达到国际先进水平。电池协会、电池联盟将继续为企业做好科技成果转化及评价服务。
合影
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湖南德智新材料股份有限公司专注于碳基复合材料、先进陶瓷材料及其衍生高端新材料的研发和生产。拥有自主研发的生产设备,具备材料制备、精密加工、CVD涂层、产品检测等完整的生产制造链。在CVD工艺上,德智新材自主研发沉积设备,并具备从开发到量产的多年工艺积累,拥有对产品应用场景的深刻理解并灵活定制的材料设计制造能力。
目前,德智新材已开发LED外延设备用组件、三代半外延设备用组件、硅基外延设备用组件、SiC刻蚀环、SiC晶舟炉管等一系列半导体用SiC部件制品。德智的产品性能、评价指标全国领先,媲美国外领先厂商水平。其中,德智新材率先实现实体SiC刻蚀组件、12寸大硅片外延用SiC涂层石墨组件、SiC晶舟炉管产品技术突破,成为国内极少具备其量产能力的领先企业。
SiC涂层石墨盘、实体SiC刻蚀环、SiC晶舟炉管是芯片制造领域的关键耗材,SiC制品的国产化对保障半导体设备关键零部件供应链安全、支撑国家高端装备制造业自主可控发展具有重要战略价值,是推动产业链安全升级和高端制造转型的关键环节。